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PW-GS600等離子水洗式尾氣處理設備
等離子水洗式尾氣處理設備
制程氣體通過進氣口進入主腔體混合， 等離子炬裝置位于主腔體中間位置，通過等離子體發生裝置形成高溫、射流狀的等離子電弧（Flame over 火焰邊緣溫度高達3000℃）對進入的制程廢氣在反應室內進行電離、轟擊、高溫分解，使其廢氣分子轉化成各種活性粒子，反應生成H2O、CO2等無害物質，再由水洗系統對其進行沖刷、噴淋、降溫、水溶水解等處理，溶于水的物質作為廢水排出，處理達標的氣體定向排放至廠務中央系統。
| 目錄 | 明細 |
| 腔體接口 | 6 Ports |
| 處理容量 | 600LPM |
| 處理效率 | >99% |
| 設備尺寸 (W×D×H ) | 1100X1000X1960（mm) |
| 操作方式 | Automatic (PLC) |
主要特點 | 火焰邊緣溫度高達3000℃ |
其他特點 | 低電能，高性能 優良的PFCs氣體處理 E.P系統實現99%以上的處理效率 防腐涂層技術 |
| PW-GS600 配置需求 | ||||||||
| 設備各連接口配置 | 廠務二次配要求 | |||||||
| 項次 | 名稱 | 材質 | 尺寸規格 | 數量 | 接口方式 | 需求 | 材質 | 備注 |
| 1 | 酸排接口 | SUS | IS0-100 | 1 | C型夾連接 | --80 ～ --120mmH2O 600LPM | 耐腐 | 1.連接處上方需配有壓力表、調節手閥 2.廠務酸排管需做分段（2m/段）連接，方便后期維護 |
| 2 | 一般排氣接口 | SUS | φ102 | 1 | 抱箍固定 | --10 ～ --20mmH2O 500LPM | SUS | 連接處上方需加裝手閥 |
| 3 | 廢氣進氣接口 | SUS | KF-40 | 6 | KF-40 clamp連接 | -80 ～ --120mmH2O | SUS | |
| 4 | 氮氣接入口 | SUS | 3/8”SWAGELOK | 1 | 3/8”SWAGELOK 卡套 | 2-4 kgf/cm2 50-60LPM | SUS | 需加裝調壓閥 |
| 5 | 冷卻水回水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK 卡套 | 40-70LPM 3-6 kgf/cm2 | SUS | 必須配有流量計、壓力計 |
| 6 | 冷卻水進水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK 卡套 | 40-70LPM 3-6 kgf/cm2 | SUS | 水質干凈，7-10℃ |
| 7 | 自來水進水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK 卡套 | 5-8LPM 3-8 kgf/cm2 | SUS | 渾濁度：不超過5度 PH值：6.5-8.5 |
| 8 | 排水接口 | PVC | 3/4" ANSI | 1 | 3/4"由令 | 40LPM Acid Drain | PVC | 需加裝手閥、逆止閥 |
| 9 | 遠程接口（預留） | SUS+PVC | RS232 公頭 | 1 | RS232插頭連接 | RS232 母頭 | 信號線 | 如有需求，連線由高笙提供。 |
| 10 | CDA接入口 | SUS | 3/8" SWAGELOK | 1 | 3/8”SWAGELOK 卡套 | 60-80LPM 5-8 kgf/cm2 | SUS | 需加裝調壓閥 |
| 11 | 電源接口 | Cu | 25mm2*4C | 1 | 端子螺絲固定 | 25mm2*4C 50/60HZ AC 208V 100A 3phase 3wire+PE 最大運行電流：60A | 銅芯軟線 | 廠務至設備之間的電源線不得有接頭 |
| 聯鎖功能表 | |||||||||
| 編號 | 安全組件名 | 所在位置 | 斷開部件和功能 | 信號燈狀態 | 蜂鳴器狀態 | 顯示屏是否報警 | 是否人工復位 | 動作方式 | 互鎖實現回路 |
| 1 | 緊急停止 | 機臺正視操作面板中間 | 斷開主電源 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 2 | 煙霧偵測器 | 電控箱上端、 機箱內上端 | 斷開主電源 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 3 | 機箱排氣偵測器 | 機臺頂端一般排氣口 | 斷開主電源 | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 4 | 排氣濃度偵測器 | 設備電控箱 | 啟動內部BY-PASS | 紅燈 | 報警 | 是 | 人工復位 | 硬件 | 安全繼電器 |
1.低功率，高性能、優良的PFCs氣體處理
2. 等離子系統實現99%以上的處理效率，設備運行長壽命
3. 防腐涂層技術，操作簡便，自動運行
4.節能模式，等離子火炬與廢氣實現同步運行
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