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產品中心

半導體高端制造源于專業的設計與優秀的品質

D-GS20吸附式尾氣處理設備

吸附式尾氣處理設備

工作原理

不使用水等液體作為處理介質,制程設備排出的廢氣進入尾氣處理設備反應腔體,經過化學反應、常溫或加熱吸附后,無害氣體被抽到排氣系統。通過向不同的固體等載體中添加中和劑、氧化劑用以吸收、氧化有毒氣體,進行有害氣體的處理。或者通過過濾材料進行分離以除去氣體或反應生成物, 或者上述幾種的組合方式;廢氣被這些固態媒介吸附、捕捉并反應后形成固態片狀物, 而這些固態媒介處于介質床之中, 失效后需及時更換吸附桶。對使用后的吸附劑廢棄物要進行妥善的處理。

產品簡介
目錄
明細
腔體接口4 Ports
處理容量

200LPM

設備尺寸 (W×D×H )

1000X1180X1850(mm)

電源供應

208VAC /3phase 3wire+PE 50/60HZ

其他特點

AUTO By Pass

 負壓處理、被動吸附、鼓風機動力輔助排放

配置需求
D-GS20  配置需求
設備各連接口配置

廠務二次配要求

項次

名稱

材質

尺寸規格

數量

接口方式

需求材質

備注

1酸排接口

SUS

IS0-1001

C型夾連接

--60 ~ --120mmH2O

耐腐

1.連接處上方需配有壓力表、調節手閥。

2.廠務酸排管需做分段(2m/段)連接,方便后期維護。

2

一般排氣接口

SUS

φ102

1

抱箍固定

--30 ~ --40mmH2O

SUS

連接處上方需加裝手閥

3

廢氣進氣接口

SUS

KF-50

4

KF-50 clamp連接

-60 ~ --120mmH2O

SUS

4

氮氣接入口

SUS

3/8”SWAGELOK

1

3/8” SWAGELOK 卡套

4-6 kgf/cm2 

SUS

需加裝調壓閥

5電源接口

Cu

2.5mm2*4C

1

端子螺絲固定

2.5mm2*4C

50/60HZ

AC 208V 10A 

3phase 3wire+PE

銅芯軟線


廠務至設備之間的電源線不得有接頭

安全聯鎖位置及功能
聯鎖功能表
聯鎖功能表
編號

安全組件名

所在位置

斷開部件和功能信號燈狀態蜂鳴器狀態顯示屏是否報警是否人工復位動作方式互鎖實現回路
1緊急停止機臺正視操作面板中間

斷開主電源

紅燈

報警

人工復位硬件安全繼電器
2煙霧偵測器

電控箱上端、

機箱內上端

斷開主電源

紅燈

報警

人工復位硬件安全繼電器
3機箱排氣偵測器

機臺頂端一般排氣口

斷開主電源

紅燈

報警

人工復位硬件安全繼電器
4排氣濃度偵測器

設備電控箱

啟動內部BY-PASS

紅燈

報警

人工復位硬件安全繼電器
產品特點

未標題-3_畫板 2.png


  • 電話

    021-58072672
    021-68072312

  • 郵箱

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