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產品中心

半導體高端制造源于專業的設計與優秀的品質

W-GS5水洗式尾氣處理設備

水洗式尾氣處理設備

工作原理

氣體經過兩級處理,一級氣體虹吸渦旋沖洗區和二級旋轉沖洗區起到去除粉塵、去除固體顆粒副產品、防堵塞的作用。 可溶氣體顆粒與高效洗滌液體在二級旋轉沖洗區和主反應區進行反應,細顆粒去除和高效液體洗滌是通過五級后段自來 水沖洗區的過濾裝置實現的。排氣濕度控制系統通過向排氣流中注入恒定流量的清潔干燥氮氣,進一步降低了排氣管道中 水凝結的可能性。經過處理后的氣體排放到通風系統,經過廠務廢氣綜合廢氣處理達到國家氣體排放標準。 為了減少淡水消耗,GS5的冷卻/水淋區采用的是循環水。底部水槽將循環水收集在其中,固體留在水槽底部。液位開關 自動控制水泵,利用PH值控制內循環周期達到節能減排。

產品簡介
目錄
明細
腔體接口NW50*4 Port
處理容量

600LPM

操作方式

Automatic (PLC)

設備尺寸 (W×D×H )

695X920X1810(mm)

電源供應

2.5mm2*4C  50/60HZAC   208V 10A 3phase 3wire+PE

其他特點

三種運行模式、節能設計、循環/排水雙泵設計、

擎天柱自轉噴淋設計、PM周期長

配置需求

W-GS5  配置需求
設備各連接口配置

廠務二次配要求

項次

名稱

材質

尺寸規格

數量

接口方式

需求材質

備注

1酸排接口

PVC

IS0-1001

C型夾固定

--50 ~ --100mmH2O

耐腐

1.連接處上方需配有壓力表、調節手閥。

2.廠務酸排管需做分段(2m/段)連接,方便后期維護。


2

一般排氣接口

PVC

φ102

1

抱箍固定

--20 ~ --30mmH2O

SUS

連接處上方需加裝手閥

3

廢氣進氣接口

SUS

KF-50

4

KF-50 clamp

--50 ~ --100mmH2O

SUS

4

自來水接口

SUS

3/8”SWAGELOK13/8” SWAGELOK 卡套4-7LPM 2-3kgf/cm2

SUS

渾濁度:不超過5度   PH值:6.5-8.5

5

氮氣接入口

SUS

3/8”SWAGELOK

1

3/8” SWAGELOK 卡套

4-6kgf/cm2 30-60LPM

SUS

需加裝調壓閥


6電源接口

Cu

2.5m2*4C

1

端子螺絲固定

2.5mm2*4C 50/60HZ

AC 208V 10A

3phase 3wire+PE

銅芯軟線


廠務至設備之間的電源線不得有接頭

7排水接口

PVC

3/4" ANSI1

3/4"由令

40LPM   Acid Drain

PVC


需加裝手閥、逆止閥


配置.png


安全聯鎖位置及功能
聯鎖功能表
聯鎖功能表
編號

安全組件名

所在位置

斷開部件和功能信號燈狀態蜂鳴器狀態顯示屏是否報警是否人工復位動作方式互鎖實現回路
1緊急停止機臺正視操作面板中間

斷開主電源

紅燈

報警

人工復位硬件安全繼電器
2煙霧偵測器

電控箱上端

斷開主電源

紅燈

報警

人工復位硬件安全繼電器
3

漏液偵測

水泵區

斷開控制電源

紅燈

報警

人工復位硬件安全繼電器
4

液位過高偵測器

水槽

斷開控制電源

紅燈

報警

人工復位硬件安全繼電器
產品特點

1. 擎天柱自轉噴淋裝置


由高壓磁力循環泵通過PVC管輸送內循環水至自轉式噴水頭,利用水壓推動原理將噴水搖桿器自動旋轉噴灑,大面積 接觸腔體內氣體,高效處理氣體,腔體內的過濾子有效攔截 POWDER 及反應物。


2. 紅外感應式水位傳感器


由原機械式浮球水位傳感器升級成紅外傳感器偵測水位,利用紅外線的物理性質來進行測量的傳感器,有靈敏度高等 優點;水位紅外線傳感器可以控制排水裝置的運行。


3. 節水模式


安裝PH SENSOR,根據PH值控制進、排水,減少廢水排放量。

  • 電話

    021-58072672
    021-68072312

  • 郵箱

    sales@gaoshengic.cn

  • 地址

    OFFICE:上海市浦東新區康橋路957號B幢2-5樓
    R&D研發制造中心:中國(上海)自由貿易試驗區臨港新片區奔騰路413號10幢

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