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TW-GS8電加熱水洗式尾氣處理設(shè)備
電加熱水洗式尾氣處理設(shè)備
通過電能加熱，對(duì)進(jìn)入的制程廢氣在反應(yīng)腔室內(nèi)進(jìn)行高溫分解，反應(yīng)生成H2O、CO2等無害物質(zhì)，再由水洗系統(tǒng)對(duì)其處理，水氣分離器將水汽和氣體分離，溶于水的物質(zhì)作為廢水排出，處理達(dá)標(biāo)的氣體定向排放至廠務(wù)中央系統(tǒng)。所處理的尾氣，包含了大部分半導(dǎo)體、TFT、SOLAR 工廠所使用的特種氣體。
| 目錄 | 明細(xì) |
| 腔體接口 | 6 Ports |
| 處理容量 | 800LPM |
| 操作方式 | Automatic(PLC) |
| 設(shè)備尺寸 (W×D×H ) | 1080X1050X2000（mm) |
電源供應(yīng) | 6mm2*4C AC 208V 50A 3phase 3wire+PE 50/60HZ |
其他特點(diǎn) | 雙層反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)、維護(hù)成本低、運(yùn)行穩(wěn)定，故障率低 |
| TW-GS8 配置需求 | ||||||||
| 設(shè)備各連接口配置 | 廠務(wù)二次配要求 | |||||||
| 項(xiàng)次 | 名稱 | 材質(zhì) | 尺寸規(guī)格 | 數(shù)量 | 接口方式 | 需求 | 材質(zhì) | 備注 |
| 1 | 酸排接口 | SUS | IS0-100 | 1 | C型夾連接 | -60 ～ -80mmH2O | 耐腐 | 1.連接處上方需配有壓力表、調(diào)節(jié)手閥。 2.廠務(wù)酸排管需做分段（2m/段）連接，方便后期維護(hù)。 |
| 2 | 一般排氣接口 | SUS | φ102 | 1 | 抱箍固定 | --10 ～ --20mmH2O | SUS | 連接處上方需加裝手閥 |
| 3 | 冷卻水進(jìn)水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm2 | SUS | 水質(zhì)干凈，7-10℃ |
| 4 | 冷卻水回水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm2 | SUS | 必須配有流量計(jì)、壓力計(jì) |
| 5 | 排水接口 | PVC | 3/4" ANSI | 1 | 3/4"內(nèi)絲由令 | Acid Drain | PVC | 需加裝手閥、逆止閥 |
| 6 | 電源接口 | Cu | 10mm2*4C | 1 | 端子螺絲固定 | 10mm2*4C AC 208V 50A 3phase 3wire+PE 50/60HZ | 銅芯軟線 | 廠務(wù)至設(shè)備之間的電源線不得有接頭 |
| 7 | 自來水進(jìn)水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 1 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 3-5 kgf/cm2 5-10LPM | SUS | 渾濁度：不超過5度 PH值：6.5-8.5 |
| 8 | 遠(yuǎn)程接口（預(yù)留） | SUS+PVC | RS232 公頭 | 1 | RS232插頭連接 | RS232 母頭 | Cu | 如有需求，連線由高生提供。 |
| 9 | 氮?dú)饨尤肟?/td> | SUS | 3/8" SWAGELOK | 1 | 3/8" SWAGELOK卡套 | 4-5 kgf/cm2 30-60LPM | SUS | 需加裝調(diào)壓閥 |
| 10 | CDA接入口 | SUS | 3/8" SWAGELOK | 1 | 3/8" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm2 80-100LPM | SUS | 需加裝調(diào)壓閥 |
| 11 | 廢氣進(jìn)氣接口 | SUS | KF-50 | 6 | KF-50 clamp | --60 ～ --80mmH2O | SUS | |
| 聯(lián)鎖功能表 | |||||||||
| 編號(hào) | 安全組件名 | 所在位置 | 斷開部件和功能 | 信號(hào)燈狀態(tài) | 蜂鳴器狀態(tài) | 顯示屏是否報(bào)警 | 是否人工復(fù)位 | 動(dòng)作方式 | 互鎖實(shí)現(xiàn)回路 |
| 1 | 緊急停止 | 機(jī)臺(tái)正視操作面板中間 | 斷開主電源 | 紅燈 | 報(bào)警 | 是 | 人工復(fù)位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 2 | 煙霧偵測(cè)器 | 電控箱上端、 機(jī)箱內(nèi)上端 | 斷開主電源 | 紅燈 | 報(bào)警 | 是 | 人工復(fù)位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 3 | 漏液偵測(cè)器 | 設(shè)備水箱前端、頂端 | 斷開自來水、冷卻 水、循環(huán)水和排水 | 紅燈 | 報(bào)警 | 是 | 人工復(fù)位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 4 | 機(jī)箱排氣偵測(cè)器 | 機(jī)臺(tái)頂端一般排氣 | 斷開加熱器控制開關(guān) | 紅燈 | 報(bào)警 | 是 | 人工復(fù)位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 5 | 過溫、過熱安全 保護(hù)裝置 | 主腔體外壁、渦旋腔體外壁、冷卻腔體外壁 | 斷開加熱器控制開關(guān) | 紅燈 | 報(bào)警 | 是 | 人工復(fù)位 | 硬件 | 安全繼電器 |
1. 維護(hù)成本低、運(yùn)行穩(wěn)定、故障率低
2. 雙層反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu)，HOT N2環(huán)繞加熱
3. 虹吸式防堵設(shè)計(jì)，延遲PM周期
4.90度翻轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)，便于PM清潔腔室
