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TW-GS6D電加熱水洗式尾氣處理設(shè)備
電加熱水洗式尾氣處理設(shè)備
工藝所產(chǎn)生的制程廢氣（DCS、N2O、SiH4、NH3、TEOS、SiF4、CH4、TEB、TEPO等），經(jīng)由真空連接管路進(jìn)入反應(yīng)腔體，在此進(jìn)行高溫分解反應(yīng)處理，分解反應(yīng)成粉末或是溶解于水的物質(zhì)，由水洗系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行沖刷、噴淋、降溫、水溶水解等處理，溶于水的物質(zhì)作為廢水排出，再由水氣分離器進(jìn)行水氣分離，防止?jié)穸瘸瑯?biāo)，最后，處理達(dá)標(biāo)的氣體定向排放至廠務(wù)中央系統(tǒng)。
| 目錄 | 明細(xì) |
| 腔體接口 | 6 Ports *2 |
| 處理容量 | 600LPM *2 |
| 操作方式 | Automatic (PLC) |
| 設(shè)備尺寸 (W×D×H ) | 1970X950X2148（mm) |
電源供應(yīng) | 16mm2*4C AC 208V 50A 50/60HZ |
其他特點(diǎn) | 雙腔自動(dòng)運(yùn)行，出色的整體防腐設(shè)計(jì) 手動(dòng)/自動(dòng)兩種運(yùn)行模式，獨(dú)立雙系統(tǒng)， 減少占地空間40%，維護(hù)方便，運(yùn)行成本低 |
| TW-GS6D 配置需求 | ||||||||
| 設(shè)備各連接口配置 | 廠務(wù)二次配要求 | |||||||
| 項(xiàng)次 | 名稱 | 材質(zhì) | 尺寸規(guī)格 | 數(shù)量 | 接口方式 | 需求 | 材質(zhì) | 備注 |
| 左右1 | 酸排接口 | SUS | IS0-125 | 2 | C型夾連接 | -80 ～ -120mmH2O | 耐腐 | 1.連接處上方需配有壓力表、調(diào)節(jié)手閥 2.廠務(wù)酸排管需做分段（2m/段）連接，方便后期維護(hù) 3.固定C型夾不得少于6個(gè)，酸排管必須耐腐 |
| 左右2 | 一般排氣接口 | SUS | φ102 | 2 | 抱箍固定 | --20 ～ --30mmH2O | SUS | 連接處上方需加裝手閥 |
| 左右3 | 冷卻水進(jìn)水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 2 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm2 | SUS | 需加裝過濾裝置，防止水質(zhì)差造成設(shè)備內(nèi)部管路堵塞 |
| 左右4 | 冷卻水回水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 2 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm2 | SUS | 必須配有流量計(jì)、壓力計(jì) |
| 左右5 | 排水接口 | PVC | 3/4" ANSI | 1 | 3/4"內(nèi)絲由令 | Acid Drain | PVC | 需加裝手閥、逆止閥 |
| 左右6 | 電源接口 | Cu | 16mm2*4C | 1 | 端子螺絲固定 | 16mm2*4C AC 208V 50A 3phase 3wire+PE 50/60HZ | 銅芯軟線 | 廠務(wù)至設(shè)備之間的電源線不得有接頭，接頭處，易損風(fēng)險(xiǎn)極大，損壞后會(huì)造成不必要的case |
| 左右7 | 自來水進(jìn)水接口 | SUS | 1/2" SWAGELOK | 2 | 1/2" SWAGELOK卡套 | 3-8 kgf/cm2 5-10LPM | SUS | 需加裝過濾裝置，防止水質(zhì)差造成設(shè)備 內(nèi)部自來水管路、噴頭堵塞 |
| 左右8 | CDA接入口 | SUS | 3/8” SWAGELOK | 2 | 3/8”SWAGELOK 卡套 | 5-8 kgf/cm2 80-100LPM | SUS | 需加裝調(diào)壓閥 |
| 左右9 | 遠(yuǎn)程接口（預(yù)留） | SUS+PVC | RS232 公頭 | 2 | RS232插頭連接 | RS232 母頭 | 信號(hào)線 | 如有需求，連線由高笙提供 |
| 左右10 | 氮?dú)饨尤肟?/td> | SUS | 3/8" SWAGELOK | 2 | 3/8" SWAGELOK卡套 | 4-5 kgf/cm2 30-60LPM | SUS | 需加裝調(diào)壓閥 |
| 左右11 | 廢氣進(jìn)氣接口 | SUS | KF-40 | 12 | KF-40 clamp連接 | --60 ～ --100mmH2O | SUS | |
| 聯(lián)鎖功能表 | |||||||||
| 編號(hào) | 安全組件名 | 所在位置 | 斷開部件和功能 | 信號(hào)燈狀態(tài) | 蜂鳴器狀態(tài) | 顯示屏是否報(bào)警 | 是否人工復(fù)位 | 動(dòng)作方式 | 互鎖實(shí)現(xiàn)回路 |
| 1 | 緊急停止 | 機(jī)臺(tái)正視操作面板 | 斷開主電源 | 紅燈 | 報(bào)警 | 是 | 人工復(fù)位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 2 | 煙霧偵測(cè)器 | 電控箱上端、 機(jī)箱內(nèi)上端 | 斷開主電源 | 紅燈 | 報(bào)警 | 是 | 人工復(fù)位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 3 | 漏液偵測(cè)器 | 設(shè)備水箱前端、頂端 | 斷開自來水、冷卻 水、循環(huán)水和排水 | 紅燈 | 報(bào)警 | 是 | 人工復(fù)位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 4 | 機(jī)箱排氣偵測(cè)器 | 機(jī)臺(tái)頂端一般排氣 | 斷開加熱器控制開關(guān) | 紅燈 | 報(bào)警 | 是 | 人工復(fù)位 | 硬件 | 安全繼電器 |
| 5 | 過溫、過熱安全 保護(hù)裝置 | 主腔體外壁、渦旋腔體外壁、冷卻腔體外壁 | 斷開加熱器控制開關(guān) | 紅燈 | 報(bào)警 | 是 | 人工復(fù)位 | 硬件 | 安全繼電器 |
1.安全
a.PARTS防腐設(shè)計(jì)，使用壽命更長(zhǎng)。
b.EMO、煙感、漏液偵測(cè)、過溫、過熱、水位偵測(cè)、壓力偵測(cè)等安全連鎖設(shè)計(jì)。
c.循環(huán)水入水口過濾裝置，更能有效的防止水槽雜質(zhì)進(jìn)入循環(huán)泵，使其卡死、損耗以及大量雜質(zhì)堆積在循環(huán)水管路內(nèi)。
d.排水管路設(shè)有氣動(dòng)閥、逆止閥，雙層防護(hù)，有效的防止水倒灌。
e.電控箱-安全回路設(shè)計(jì)，用電更安全。
f.后段水氣分離裝置，有效防止水汽進(jìn)入廠務(wù)酸排管。
2. 高效
a.HEATER均勻分布，高溫分解、反應(yīng)更徹底。
b.渦旋水洗、降溫設(shè)計(jì)，水洗、沖刷更佳。
c.后段雙重水洗系統(tǒng)，處理更高效。
d.循環(huán)/排水雙泵設(shè)計(jì)，使其每個(gè)系統(tǒng)供應(yīng)更充分，損耗更低。
e.反應(yīng)腔加大設(shè)計(jì)，POWDER不易堵塞，從而延長(zhǎng)PM周期。
3. 方便
a.觸控屏操作設(shè)計(jì)，操作更清晰、便捷。
b.特有結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，拆裝更便捷。
