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產品中心

半導體高端制造源于專業的設計與優秀的品質

BW-GS2000S燃燒水洗式尾氣處理設備

燃燒水洗式尾氣處理設備

工作原理

天然氣經過點燃,在反應室內形成高溫噴流狀火炬,對進入的制程廢氣進行燃燒氧化和高溫分解,使其形成有機、可燃、燃燒熱值較高的可直接燃燒處理的廢氣,燃燒處理后的產物為H2O、CO2等無害物質,再由水洗系統對其進行沖刷、噴淋、降溫、水溶水解等處理,溶于水的物質作為廢水排出,處理達標的氣體則定向排放至廠務中央系統。

產品簡介
目錄
明細
腔體接口6 Ports
處理容量

1000LPM 

設備尺寸 (W×D×H )

950X950X1850(mm)

電池供應208VAC /3phase 3wire+PE 50/60HZ

其他特點

防腐涂層技術、高效的Burner

配置需求
BW-GS2000D 配置需求
設備各連接口配置

廠務二次配要求

項次

名稱

材質

尺寸規格

數量

接口方式

需求材質

備注

1酸排接口

SUS

IS0-1601

C型夾連接

-80 ~ -120mmH2O

耐腐

1.連接處上方需配有壓力表、調節手閥

2.廠務酸排管需做分段(2m/段)連接,方便后期維護

3.固定C型夾不得少于6個,酸排管必須耐腐

2

一般排氣接口

SUS

φ102

1

抱箍固定

--10 ~ --20mmH2O

SUS

連接處上方需加裝手閥

3

廢氣進氣接口

SUS

KF-40

6

KF-40 clamp連接

-80 ~ --120mmH2O

SUS

DRY-Pump 尾端需加裝手閥
4

氮氣接入口

SUS

3/8”SWAGELOK

1

3/8”SWAGELOK 卡套

4-5 kgf/cm2 

30-60LPM

SUS

需加裝調壓閥

5冷卻水回水接口SUS

1/2" SWAGELOK

1

1/2" SWAGELOK 卡套

4-6 kgf/cm2

SUS必須配有流量計、壓力計
6冷卻水進水接口SUS

1/2" SWAGELOK

1

1/2" SWAGELOK 卡套


4-6 kgf/cm2

SUS

需加裝過濾裝置,防止水質差造成設備內部管路堵塞

7自來水進水接口SUS

1/2" SWAGELOK

1

1/2" SWAGELOK 卡套

5-10LPM 3-8 kgf/cm2

SUS

需加裝過濾裝置,防止水質差造成設備內部自來水管路、噴頭堵塞

8排水接口PVC

3/4" ANSI

1

3/4"內絲由令

 Acid Drain

PVC

需加裝手閥、逆止閥

9遠程接口(預留)SUS+PVCRS232 公頭1RS232插頭連接RS232 母頭信號線

如有需求,連線由高笙提供。

10CDA接入口SUS

3/8" SWAGELOK

1

3/8”SWAGELOK 卡

  4-6 kgf/cm2

80-100LPM

SUS需加裝調壓閥
11

天然氣

SUS1/2" SWAGELOK11/2" SWAGELOK 0.5-2 kgf/cm2SUS需加裝手閥
12氧氣接入口(選配)SUS3/8" SWAGELOK13/8" SWAGELOK 3-6 kgf/cm2SUS需加裝調壓閥
13電源接口

Cu

10mm2*4C

1

端子螺絲固定

10mm2*4C  50/60HZ

AC 208V 10A

3phase 3wire+PE

銅芯軟線

廠務至設備之間的電源線不得有接頭,接頭處,損壞風險極大。

安全聯鎖位置及功能
聯鎖功能表


聯鎖功能表
編號

安全組件名

所在位置

斷開部件和功能信號燈狀態蜂鳴器狀態顯示屏是否報警是否人工復位動作方式互鎖實現回路
1緊急停止 EMO

機臺正視操作

面板中間

斷開所有電源

紅燈

報警

人工復位硬件安全繼電器
2煙霧偵測器

電控箱上端、

機箱內上端

斷開所有電源

紅燈

報警

人工復位硬件安全繼電器
3機箱排氣偵測器

機臺頂端一般排氣口

斷開燃燒系統、

紅燈

報警

人工復位硬件安全繼電器
4

漏液偵測器

設備水箱右側

斷開自來水、冷卻水、循環水和排水、燃燒系統

紅燈報警人工復位硬件安全繼電器
5水槽高液位傳感器設備水箱右側、頂端斷開自來水、冷卻水、燃燒系統紅燈報警人工復位硬件安全繼電器
6

過溫、過熱安全

保護裝置

主腔體外壁、渦旋腔體外壁、冷卻腔體外壁

斷開燃燒系統

紅燈

報警

人工復位硬件安全繼電器
產品特點

1.在各種制程上采用高效的 Burner

 

2. 可選擇 high energy 和 medium energy 運營


3. 通過延長消耗品部件壽命降低維護成本


4.水幕式內部的 Self Cleaning 設計延長 PM 周期


5.內部相互切換的功能降低 Pipe Utility 費用


6.防腐涂層技術,操作簡便,便于維護


7.Parts桶雙腔通用,減少庫存壓力

  • 電話

    021-58072672
    021-68072312

  • 郵箱

    sales@gaoshengic.cn

  • 地址

    OFFICE:上海市浦東新區康橋路957號B幢2-5樓
    R&D研發制造中心:中國(上海)自由貿易試驗區臨港新片區奔騰路413號10幢

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