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半導體高端制造源于專業的設計與優秀的品質
輔助設備
全自動插板閥（AGV）
? 應用背景
SEMI、TFT、SOLAR、LED等行業內制程廢氣Powder量較多工藝的部門，如：CVD、PVD、ETCH、DIFF，常因PUMP不預期停機，導致氣體回灌，腔體污染，從而導致不良品發生。同時還要對已污染腔體，進行清潔保養，嚴重影響生產計劃，降低產能。
? 作用
Auto Gate Valve通過添加PUMP Interface BD信號，實現PUMP和Main Controller 的通信， 當PUMP異常停機時，Main controller收到信號后，立即自動關閉閥門，預防氣體回灌，并保持管路壓力。
