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產(chǎn)品中心
半導(dǎo)體高端制造源于專業(yè)的設(shè)計(jì)與優(yōu)秀的品質(zhì)
真空系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造中的作用主要有兩點(diǎn)：
?抽取工藝腔的氣體，去除顆粒與多余的水汽等雜質(zhì)，有助于減少其對(duì)半導(dǎo)體材料的污染；
?控制氣壓，實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體器件制造過程中的精確控制。
根據(jù)以上需求半導(dǎo)體設(shè)備的真空系統(tǒng)主要由干式真空泵，分子泵與冷泵產(chǎn)品構(gòu)成。
低溫泵又稱冷泵，是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。
低溫泵結(jié)構(gòu)介紹
? 障板：障板能保護(hù)低溫板免受真空室的熱輻射。
? 輻射屏：包裹著冷頭，有一個(gè)鍍鎳外層，用來反射輻射的熱能；內(nèi)層涂有專門的黑色涂層，可以防止熱量反射到冷板上。冷板外層是高光澤度鍍鎳處理，內(nèi)層粘合吸附材料。
? 冷板：冷板從功能上分為外表面冷凝排除氣體部分和內(nèi)表面活性炭吸附排除氣體部分。O2、N2、 Ar等凝縮性氣體分子的絕大部分被擋在冷板外表面，并在其表面凝縮，而到達(dá)其內(nèi)表面活性炭氣體分子則極少。H2分子在外表面不被凝縮而被反射，從而被其內(nèi)表面的活性炭所吸附。
? 一級(jí)冷頭溫度范圍：70～100K，通常為80K。主要用來凝縮水蒸氣。
? 二級(jí)冷頭溫度范圍：10～20K，常為15～20K。主要用來凝縮O2、N2、Ar、CO2等飽和蒸氣體汽壓高的氣體。
? 冷凍機(jī)：此制冷機(jī)包括一個(gè)雙級(jí)冷頭和一個(gè)壓縮機(jī)，通過兩個(gè)氦管相聯(lián)，工作介質(zhì)是氣態(tài)氦，在壓縮機(jī)里被壓縮，然后在冷頭里膨脹，就可使其吸收外部的熱量。如果,從外部傳入的熱量較少或者根本沒有, 處于斷熱狀態(tài)，氣體本身就會(huì)降溫，這就是他的制冷過程。障板與冷頭第二級(jí)相連，冷板與第一級(jí)相連。
