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半導體高端制造源于專業的設計與優秀的品質
尾氣處理設備
氫氣專用尾氣處理設備
處理氫氣流量更大，單氫氣可達360L，混合特氣處理量達450L
腔體全包加熱器設計，受熱均勻
純電熱高溫處理方式，溫度可到達800度
單進口模式，預留Bypass進氣口
無需自來水，少量廢水排出，節約能源
降低維護成本
