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尾氣處理設備
吸附式尾氣處理設備
不使用水等液體作為處理介質，制程設備排出的廢氣進入尾氣處理設備反應腔體，經過化學反應、常溫或加熱吸附后，無害氣體被抽到排氣系統。通過向不同的固體等載體中添加中和劑、氧化劑用以吸收、氧化有毒氣體，進行有害氣體的處理；或者通過過濾材料進行分離以除去氣體或反應生成物， 或者上述幾種的組合方式；廢氣被這些固態媒介吸附、捕捉并反應后形成固態片狀物， 而這些固態媒介處于介質床之中， 失效后需及時更換吸附桶，對使用后的吸附劑廢棄物要進行妥善的處理。
