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尾氣處理設備
電加熱水洗式尾氣處理設備
專業處理易燃、有毒、有害性氣體的廢氣處理系統設備；將工藝制程所產生的廢氣，經由反應腔室的高溫分解， 反應成粉末，或是反應成溶解于水中的物質，再經由廠務集中水處理管道排放至廠務中央水處理系統，所處理的尾氣，包含了大部分半導體、TFT、LCD 工廠所使用的特種氣體。
