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制程氣體通過(guò)進(jìn)氣口進(jìn)入主腔體混合，等離子炬裝置位于主腔體中間位置，通過(guò)等離子體發(fā)生裝置，形成高溫、射流狀的等離子電弧（弧長(zhǎng)：25CM），對(duì)進(jìn)入的制程廢氣在反應(yīng)室內(nèi)進(jìn)行電離、轟擊、高溫分解，使其廢氣分子轉(zhuǎn)化成各活性粒子，反應(yīng)生成H2O、CO2等無(wú)害物質(zhì)，再由水洗系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行沖刷、噴淋、降溫、水溶水解等處理，溶于水的物質(zhì)作為廢水排出，處理達(dá)標(biāo)的氣體定向排放至廠務(wù)中央系統(tǒng)。