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半導(dǎo)體高端制造源于專業(yè)的設(shè)計與優(yōu)秀的品質(zhì)
尾氣處理設(shè)備
天然氣經(jīng)過點燃,在反應(yīng)室內(nèi)形成高溫噴流狀火炬,對進(jìn)入的制程廢氣進(jìn)行燃燒氧化和高溫分解,使其形成有機(jī)、可燃、燃燒熱值較高的可直接燃燒處理的廢氣,燃燒處理后的產(chǎn)物為H2O、CO2等無害物質(zhì),再由水洗系統(tǒng)對其進(jìn)行沖刷、噴淋、降溫、水溶水解等處理,溶于水的物質(zhì)作為廢水排出,處理達(dá)標(biāo)的氣體則定向排放至廠務(wù)中央系統(tǒng)。
燃燒水洗式尾氣處理設(shè)備